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鈦靶、鋯靶、鎳靶、鉻靶

鉻靶
鉿的原子序數(shù)72,原子量178.49,熔點(diǎn)2227℃,沸點(diǎn)4602℃,密度13.31g/cm3,單質(zhì)是一種帶光澤的銀灰色的過渡金屬,鉿不與稀鹽酸、稀硫酸和強(qiáng)堿溶液作用,但可溶于氫氟酸和王水。 鉿濺射靶材的應(yīng)用:引入氧氣分壓...
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           鉿的原子序數(shù)72,原子量178.49,熔點(diǎn)2227℃,沸點(diǎn)4602℃,密度13.31g/cm3,單質(zhì)是一種帶光澤的銀灰色的過渡金屬,鉿不與稀鹽酸、稀硫酸和強(qiáng)堿溶液作用,但可溶于氫氟酸和王水。

           鉿濺射靶材的應(yīng)用:引入氧氣分壓,可以用磁控濺射或反應(yīng)濺射鉿濺射靶,制備氧化鉿薄膜。所得薄膜可用于多種用途,包括用于光子學(xué)的光學(xué)涂層、薄膜電阻、耐腐蝕性、核產(chǎn)品、集成電路中的柵極絕緣體和傳感器。